半导体制造

气体检测全球优选 06月02日 11:50

半导体材料的制造包含高毒性物质和易燃气体的使用。磷、砷、硼和镓等经常会作为添加剂使用。氢气不仅仅作为反应物使用，还经常用作还原空气的载气。酸洗气和清洗气包括NF3和其他全氟化合物。

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